近期,國家“863”計劃項目“超大規(guī)模集成電路配套材料”重大專項中“TDR-150型單晶爐(12英寸MCZ綜合系統(tǒng))”在北京正式通過科技部的檢驗收,這標(biāo)志著擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)的大尺寸集成電路與太陽能用單晶硅生長設(shè)備,在國內(nèi)首次研發(fā)成功。
西安理工大學(xué)與北京有色金屬研究總院從2003年起承擔(dān)“TDR-150型單晶爐(12英寸MCZ綜合系統(tǒng))”課題的研究和攻關(guān)任務(wù),課題組組織多學(xué)科技術(shù)骨干,形成穩(wěn)定的攻關(guān)團(tuán)隊,堅持走自主創(chuàng)新、集成創(chuàng)新的道路,經(jīng)過3年多的攻關(guān),取得了一系列創(chuàng)新性成果和關(guān)鍵技術(shù)。研制的樣機(jī)由課題組自主攻關(guān)、設(shè)計和加工,關(guān)鍵部件和樣機(jī)達(dá)到了較高的技術(shù)水平,已成功拉制出12英寸無位錯合格單晶。
單晶爐是直拉法制備硅單晶的關(guān)鍵技術(shù)裝備,所制備的硅單晶主要用于集成電路元件和太陽能電池。在我國,以單晶爐為代表的晶體生長設(shè)備一直存在核心技術(shù)不足的問題,高端產(chǎn)品均為國外公司所壟斷,在很大程度上制約了我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
通過項目的實施課題組還建立了高端晶體生長設(shè)備研發(fā)平臺,達(dá)到了積累經(jīng)驗、獲取成果、培養(yǎng)隊伍的目的。驗收會上,專家們認(rèn)為該成果的取得填補(bǔ)了國內(nèi)空白,標(biāo)志著我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備的生產(chǎn)邁上了一個新臺階。
