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一種具有獨特的爐膛結(jié)構(gòu)設(shè)計，有多個獨立可控的溫區(qū)，能一次性完成產(chǎn)品排膠、燒結(jié)保溫、可控降溫的全過程的一種高溫爐。運行速度平穩(wěn)無噪聲，下降速度無級可調(diào)。爐膛保溫材料采用節(jié)能型纖維升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結(jié)產(chǎn)品一致性好。

    在擴散爐口徑變大以后恒溫區(qū)的橫截面溫度差臥式爐比立式大得多，立式爐更能滿足工藝要求；立式爐為達到特殊工藝要求甚至更低，使之滿足薄膜工藝要求，箱式電爐、立式爐有利于滿足自動化水平，實現(xiàn)自動裝卸片；立式爐能在工藝過程中硅片在高溫狀態(tài)易變形,水平放置硅片變形??；

    立式爐具有獨特的爐膛結(jié)構(gòu)設(shè)計，有多個獨立可控的溫區(qū)，能一次性完成產(chǎn)品排膠、燒結(jié)保溫、可控降溫的全過程。溫控采用數(shù)顯移相電壓調(diào)，管式電爐傳動系統(tǒng)無離合機構(gòu)，采用控制步進電機，運行速度平穩(wěn)無噪聲，下降速度無級可調(diào)。

    爐膛保溫材料采用節(jié)能型纖維，升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結(jié)產(chǎn)品一致性好。能在在高溫擴散及硅片破碎時，使立式爐不需要清洗反應(yīng)管和石英舟，管式爐反應(yīng)部位的粘附物、顆粒少得作用。


    立式爐可通氣氛抽真空，材質(zhì)是石英管，配有石英管和真空密封法蘭系統(tǒng)，可以在流動氣氛和真空狀態(tài)下快速加熱和淬火樣品。精密的控溫儀升降溫，控溫精度。安裝在可移動支架上方便移動。